由于等离子体辉光放电是由真空紫外光产生的，烘烤温度对附着力的影响对蚀刻速率有积极的影响，且气体中含有中性粒子、离子和电子。中性粒子具有与温度和电子能量相对应的较高温度，称为非平衡等离子体和冷等离子体。主要表现为电中性(准中性)气体具有较高的自由基和离子活性，其能量足以打破所有化学键，在材料表面发生化学反应。一般来说，等离子体中粒子的能量是几十电子伏。
放电过程尽管电子温度很高,但重粒子温度很低,系统介绍了低温的状态,所以称为低温等离子体气体(惰性气体)在一定电压和频率下的电场效应可以电离或分解,攻击包括电子、各种离子,等离子体中的原子和自由基。
太阳和恒星不断地发射这样的等离子体，温度对附着力的影响其粒子的温度达到数千万甚至数亿摄氏度，可以用于能源领域的受控核聚变。低温等离子体可在室温下发生，其电子温度可达数千甚至数万摄氏度，可激发、解离、电离、结合分子或原子。低温等离子体可分为热等离子体和冷等离子体。
它在能量等离子体与物质表面的相互作用中起重要作用。氮气作为惰性气体，烘烤温度对附着力的影响主要用作等离子清洗过程中的非反应性气体。氮等离子处理可以提高材料的硬度和耐磨性。在某些情况下，氮气也可以作为反应气体，形成氨化合物。氮气通常作为非反应性气体用于等离子清洁器中。。关于等离子清洗机的电源频率，一般来说，频率越高，
